七十年代的大规模集成电路会战记实

程渝荣

20世纪60年代末,随着计算技术和半导体技术的迅速发展，半导体元器件制造技术从分立器件、小规模、中规模集成电路向大规模集成电路发展。多年来，大规模集成电路一直是国家产业发展战略的重点，涉及计算机、半导体、精密仪器、化工、材料、冶金等各学科诸多技术领域。一个国家集成电路电路设计、制造技术的水平是国家综合国力的反映。

“文革”期间，由原自动控制系、无线电电子系未迁四川分校的半导体专业及电视教研组，以及力学数学系的计算数学专业所组成了电子工程系(曾称为电子厂)，在国内率先开展大规模集成电路设计、制造技术的研究。大规模集成电路的研发列为学校重点科研项目，由计算机教研组和半导体教研组联合在半导体车间，成立了大规模集成电路科研线和生产线。该项科研项目任务由王继中老师负责主抓组织协调工作，徐葭生同志当时任半导体车间主任、先后由黄兆树、李晔同志任书记，李三立老师任科研组长、我任副组长，后李三立老师调回教研组，由廖万清老师接替担任组长。朱家维、蔡大用、洪先龙、谢树煜、张洁渝、齐振、刘凤云、郭尚才、奚和泉、岳振五、李维中、戴福根、杭光汉、王水弟、张金水、王宝印、汤友福、孙义和及现微电子研究所的李瑞伟、朱正湧、齐家月等老师都先后参与了该阶段的项目。

当时，全国大规模集成电路的研究条件很差，一无资料，二无设备，更不可能从国外引进先进的大规模集成电路研发设备。连基本的集成电路实验设备也几乎一无所有，王继中老师带领我们调集系里的各项设备资源,从西主楼控制教研组调来原研究厚膜集成电路用的真空镀膜机, 真空镀膜机重几顿,从西主楼四楼,用垫木、铁棍、撬杠架上真空镀膜机经中央主楼四层一直搬运到东主楼一层。

王继中老师带领我们与校内各系开展了密切的技术合作，联合攻关。当时由吴启明老师牵头联合精密仪器系研发了扩散炉，光刻机、分步重复照相机;李维中老师、戴福根老师负责与精密仪器系、工物系研发了离子注入机;杭光汉老师为首的超声波压焊机研发;应联华老师与邬鸿彦老师研发了高頻等离子机等大规模集成电路制造的关键实验设备。

大规模集成电路制造技术具有多学科交叉的特点，从集成电路设计、计算机模拟、计算机辅助设计，到芯片的制造、芯片的中间测试，直到成品测试，每一步都面临着挑战，都需要创新。1972年蔡大用、洪先龙和我开始尝试用计算机模拟逻辑设计和电路设计，开始了计算机辅助集成电路设计的研究。当时计算机的计算能力、存储容量都很有限，我们只好晚上去中科院计算中心借用当时最先进的109机进行模拟、仿真计算。在封装技术方面涉及材料、模具等一系列问题，奚和泉、杭光汉老师克服种种困难研制了双列直插式塑料、金属陶瓷封装管壳及封装技术。为适应大规模集成电路制造的环境条件要求，张金水等老师与校外单位紧密配合，一起研发了当时国内没有的超净工作台，王水弟老师负责将实验室改造为当时国内第一个超净工作室。

在系里的统一领导下，自力更生，解决了一个个问题，逐步完成了大规模集成电路研发的基本装备和环境条件。在半导体车间全体人员的共同努力下，完成了4X4、8X8、256、1024、4K、16K、64K静态、动态存储器的研制，多项大规模集成电路成果和专用设备(如分步重复照相机、光刻机)研制成果填补了国内多项空白，获得电子工业部科技成果一等奖、二等奖。研究成果很快转给北京878厂、北京半导体厂、上海元件五厂、十四厂、无锡742厂生产。

在大规模集成电路初步研制成功的基础上，由谢树煜、张洁瑜、刘凤云、郭尚才、王宝印、汤友福等老师组成的台式计算机研制组，完全采用我们自己研发的集成电路，研制成功了国内首台台式计算机(台式计算器)。

忆往昔， 20世纪70年代的大规模集成电路会战，确实是一段艰难而光荣奋斗的历程，我系及半导体车间的老师和实验员们付出了辛勤劳动，为我国的大规模集成电路产业的开创和发展作出了重大贡献。

[作者简介]程渝荣，男，1944年出生，上海人，教授。1964年入自动控制系自05班就读，1970年毕业留系任教，1980年入122cc太阳集成游戏计算机应用专业读研究生， 1982年获硕士学位。1983年跟随凌瑞驥教授创建122cc太阳集成游戏软件技术中心，任软件部主任、软件技术中心副总工程师。